用于生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的無塵室也叫無塵車間,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。精密的電子產(chǎn)品主要是在百級以上無塵車間(含百級無塵車間)內(nèi)生產(chǎn)出來的。
無塵車間主要應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、食品、印刷包裝等行業(yè)等行業(yè)。隨著社會的發(fā)展越來越多的行業(yè)也需要無塵車間凈化工程。生產(chǎn)工藝的需要,與生產(chǎn)設(shè)備,生產(chǎn)環(huán)境密切相關(guān)。
在電子生產(chǎn)車間中,隨著人的進(jìn)進(jìn)出出,往往會帶進(jìn)很多的灰塵顆粒,而高精密度的電子元器件,對于環(huán)境的要求特別的高,生產(chǎn)出來的電子元器件的質(zhì)量往往跟空氣中的懸浮灰塵顆粒有很大關(guān)系,所以在電子生產(chǎn)車間往往都要建設(shè)為無塵車間,保證空氣中的懸浮顆粒的數(shù)量以保證電子元器件的高質(zhì)量,無塵車間設(shè)備中的負(fù)離子凈化空氣系統(tǒng)能降低空氣中的懸浮顆粒物的濃度,讓電子生產(chǎn)環(huán)境更加的干凈。
電子制造業(yè)萬級無塵車間廠房特點:
潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊無塵車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
●電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
●電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
●電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
● 電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值
● 補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫斷電保護(hù),若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量
電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
電子凈化工程凈化原理:
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
凈化工程的設(shè)計過程中,應(yīng)加強對電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實用的方案。