潔凈室在許多行業(yè)是必不可少的，尤其是在微電子工業(yè)方面有著嚴格的要求，例如生產較高檔的電子元器件就必須要有潔凈的工作環(huán)境，有關檢測部門在檢測時也需要有潔凈的工作環(huán)境來滿足其功能。為了使這個潔凈環(huán)境能滿足生產、檢測等要求，我們必須克服一個不容忽視的因素，那就是靜電。

在潔凈室里生產的各類電器元器件，基本上都需要防靜電，因為生產高性能要求的產品時，若有靜電吸附，被吸附的微塵就成了擊穿中心，就會使材料的絕緣特性下降等。元器件、設備、甚至墻面或地板上都可能隨時產生靜電荷，有了靜電荷就有了靜電吸附的現(xiàn)象，導致潔凈室的潔凈度的下降。同時，潔凈度下降后，空氣中的微粒數(shù)量增加，這樣更加劇了靜電吸附現(xiàn)象的發(fā)生。

因此潔凈室在關注污染控制的同時也應注意防止靜電，下面就從3方面來述說一下靜電的防止方法。

1、防止?jié)崈羰依锂a生靜電

我們必須在設計和采用材料時就選用不易產生靜電，或產生靜電能迅速泄漏的材料。在以往的設計中我們?yōu)榱耸轨o電電荷有迅速逃逸的通路，往往只注重對地板的作用，即采用防靜電地板來消除靜電。并且只把系統(tǒng)電阻值限制在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的標準，目前看來是遠遠不夠的。

現(xiàn)在歐美、日本等國家在設計潔凈室時已經不局限于防靜電地板了，對潔凈室隔斷、墻壁及潔凈的結構系統(tǒng)等都考慮在內。目前在設計時我們也會充分考慮到防靜電的要求，如采用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔助措施或補救方法來克服靜電。使?jié)崈羰也划a生或少產生靜電。

2、利用潔凈室的空氣、溫濕度來控制

我們在設計潔凈室時一般利用其固有的條件來消除靜電。因為空氣濕度在RH50%左右或溫度在23℃左右條件下，其形式的空氣導電會有良好的防靜電環(huán)境。設計條件允許時盡量滿足靠攏它。采用離子發(fā)生器也可消除靜電和防止帶靜電等。

3、消除人體帶電

進入潔凈室的人員必須穿防靜電潔凈服、穿戴防靜電手套，穿防靜電鞋等來消除靜電。運輸周轉中的工具如小車，箱子也應采用防靜電的產品。

靜電放電在很多情況下是我們所不希望的，它在具有易燃易爆氣體的場所極易導致危險的火災。而且潔凈室內的靜電對產品的傷害是極大的，因此，潔凈室靜電的控制是不可忽視的。

1/5