光學(xué)微電子凈化車間亦名光學(xué)微電子無塵室或光學(xué)微電子潔凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密電子元件、液晶制造、光學(xué)儀器制造、線路板制造和手機、計算機等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
光微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設(shè)計過程中，應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括：
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）風(fēng)淋室
3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理：
氣流→初效空氣過濾器凈化→空調(diào)→中效空氣過濾器凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效空氣過濾器凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效空氣過濾器凈化 重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季<26℃；波動±2℃。
溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。
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